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一种制作滤光片的方法,可增加一半导体晶片上的一滤光片附着力并避免光线的跨越干扰现象;该方法是先于该半导体晶片上形成一介电层以覆盖设于该半导体晶片上的MOS晶体管感测器;然后于该介电层上形成复数个金属层约略设置于各MOS晶体管感测器两侧上方;接着形成一保护层,并于该保护层上形成一第一滤光片,其两侧与下方的两该金属层约略对齐;之后依序于该保护层上形成一第二滤光片以及一第三滤光片且分别部分相叠于该第一滤光片的一侧;其中各滤光片相叠的部分可以提高各该滤光片的附着力,同时形成一光线阻障层,以避免光线的跨越干扰的作用就是透红外光截止可见光。这样即使在光线不好或没有的情况下,相机仍然可以拍摄不过是黑白效果了。
随着窄带滤光片在航空、航天、国防、通讯、环保、分析仪器等各个领域的广泛应用,对其性能也提出了更高的要求。温度和吸湿是影响带通滤光片性能的2个主要因素。
分析其光学性能与聚集密度、温度变化和吸湿等因素之间的关系。根据吸湿及温度引起窄带滤光片各层膜的厚度误差,给出了吸湿前后及温变前后光谱漂移的模型。通过对窄带滤光片的光学稳定性进行分析和初步实验,提出了改善窄带滤光片光学性能的措施。
全介质窄带滤光片暴露于空气后,很快出现宏观上的吸水现象。先是膜层表面上出现许多吸水斑点,之后逐渐扩大并连成一片,最后形成均匀的吸水层。待膜层吸水达到稳定后,测量滤光片的透射率就会发现,不仅峰值波长移向长波,而且峰值波长的透射率也有所增加。
引起原因:
薄膜中存在一定数量的孔隙,在膜层未吸水前,膜层中的孔隙为空气所填充,其折射率为1;吸水后,孔隙被水填充,水的折射率为1.33。由于孔隙内折射率的变化,使得膜层的平均折射率增加,又由于膜层的光学厚度随着折射率增加而增加,因此出现了滤光片峰值波长移向长波的现象。
工作环境温度对窄带滤光片光学性能的影响
窄带滤光片随环境温度变化发生的漂移可以归因于薄膜材料的折射率温度系数及其热膨胀系数。窄带滤光片的光学特性对温度变化比较敏感。对于具有正温度系数的材料,当温度变化很小时,随温度的上升,最主要的影响就是波峰向长波方向移动;当温度变化较大时,通常滤光片的湿气会放出来,有可能引起波峰向短波方向移动。