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薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。光学滤光片入射光经薄膜上表面反射后得首束光,折射光经薄膜下表面反射,又经上表面折射后得第二束光,这两束光在薄膜的同侧,由同一入射振动分出,是相干光,属分振幅干涉。若光源为扩展光源(面光源),则只能在两相干光束的特定重叠区才能观察到干涉,故属定域干涉。对两表面互相平行的平面薄膜,干涉条纹定域在无穷远,通常借助于会聚透镜在其像方焦面内观察;对楔形薄膜,干涉条纹定域在薄膜附近。
实验和理论都证明,只有两列光波具有一定关系时,才能产生干涉条纹,这些关系称为相干条件。薄膜的相干条件包括三点:两束光波的频率相同;束光波的震动方向相同;两束光波的相位差保持恒定。
光学薄膜是大块材料经过固相——液相——气相——固相或固相——气相——固相转化后在基板上凝聚而成的,因而它的微观结构、晶体结构以及薄膜成分都会与原始块状材料不同。
绝大多数金属几乎都是以原子形式蒸发的,但是对于一些半导体和半金属,它们多是以2个或2个以上的原子集合体逸出的。因为Sb的4个原子几乎是以相似的共价键相结合,故Sb膜中主要含Sb4,同时混入Sb2和少量Sb。As多为As4和As2,Bi和Te含有相当多的Bi2和Te2,在C,Ce,Se和Si中也都观察到类似的集合体。
化合物的情况更加复杂。对于硫属化合物,蒸发时材料是分解的,例如,2ZnS→2Zn+S2。但它们在基板上又重新化合了,因而仍能得到化学计量与块状材料近似一致的膜层。CdTe也分解为Cd和Te2。同样,氟化物也会引起不同程度的失氟,失氟后的膜层吸收潮气能力提高。这种失氟现象与蒸发源密切相关,采用大容量的辐射蒸发源可得到与块状化学计量近似一致的膜层。在蒸发氧化物时,可观察分解的O2,即使是稳定的SiO2也包含着SiO和O2.失氧最严重的是TiO2,Ta2O5和NiO等,相比之下,MgO,Al2O3,BeO和CoO2几乎接近于块状材料。